質量流量控制器可以用于控制各種氣體,包括腐蝕性氣體和特殊氣體,但是要注意，對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體，需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時，需要.向供貨廠商特殊聲明使用氣體，以免因為選型或選擇密封材料錯誤，造成嚴重損失。

   氣體質量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等，密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料-般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體，包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物'(體建議最好采用金屬密封的MFC。

   由于金屬密封的MFC價格較高,通常要求不高的場合,均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封，可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體,例如可以用于氯化氫等鹵族干燥氣體。其它一-些特殊腐 蝕性氣體，需要采用特種橡膠。氨氣一需要采用耐氨橡膠， 如乙丙橡膠、氣丁橡膠或丁晴橡膠;有機溶劑汽氛(丙酮、甲苯等)一需要采用硅橡膠; 三溴化砌、三氧化硼、氟化氫等_需 要采用全氟橡膠。